400-8686-737
• 适用于超高纯气体、特殊气体
• 降低系统压力
• 调节灵敏
• 耐腐蚀性强
• 阀体材料：316L、316L VAR 符合 SEMI F20
• 本体尺寸：1/4"-1/2"
2D/3D CAD
• 工作温度: PCTFE: -40-71°C（ -40-160℉ ) / Vespel®: -10-90°C（ 14-194℉ )
• 进气压力：0-3500psig (0-241bar)
• 出气压力：1-300psig ( 0.07-20.7bar )
• 本体尺寸：1/4"-1/2"
• 膜片材料：哈氏合金
• 连接方式：卡套、可旋转ECR内外螺纹、焊接、公头/母头ECR、NPT螺纹
• 阀体材料：316L、316L VAR 符合 SEMI F20
• 密封材料：PCTFE、Vespel®
• 阀体泄漏率(向内泄露)：2.0x10-11Pa·m3/s以下
• 阀体泄漏率(向外泄露)：2.0x10-10Pa·m3/s以下
• 阀座泄露率：4.0x10-9Pa·m3/s以下
• 阀门内部流道：电解抛光处理 Ra≤0.25μm
