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PZ系列 高纯气体适用一段式减压阀

• 适用于超高纯气体、特殊气体

• 降低系统压力

• 调节灵敏

• 耐腐蚀性强

• 阀体材料：316L、316L VAR 符合 SEMI F20

• 本体尺寸：1/4"-1/2"  

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产品参数

• 工作温度:  PCTFE: -40-71°C（ -40-160℉ ) / Vespel®: -10-90°C（ 14-194℉ )

• 进气压力：0-3500psig (0-241bar)

• 出气压力：1-300psig ( 0.07-20.7bar )

• 本体尺寸：1/4"-1/2"

• 膜片材料：哈氏合金  

• 连接方式：卡套、可旋转ECR内外螺纹、焊接、公头/母头ECR、NPT螺纹

• 阀体材料：316L、316L VAR 符合 SEMI F20

• 密封材料：PCTFE、Vespel®

• 阀体泄漏率(向内泄露)：2.0x10-11Pa·m3/s以下

• 阀体泄漏率(向外泄露)：2.0x10-10Pa·m3/s以下

• 阀座泄露率：4.0x10-9Pa·m3/s以下

• 阀门内部流道：电解抛光处理 Ra≤0.25μm

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