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    400-8686-737

    EDP系列 低压隔膜阀

    • 适用于超高纯气体、特殊气体

    • 极少颗粒产生

    • 密封性好

    • 耐腐蚀性强

    • 阀体材料：316L、316L VAR、316L VIM-VAR 符合 SEMI F20

    • 本体尺寸：1/4"-1/2"

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    产品参数

    • 工作压力：145psig ( 10bar )

    • 工作温度：-10-80℃ ( 14-176℉ )

    • 驱动压力：60-90psig ( 6-8bar )

    • 膜片材料：镍钴合金

    • 本体尺寸：1/4"-1/2"

    • 连接方式：卡套、可旋转ECR内外螺纹、焊接、公头ECR

    • 阀体材料：316L、316L VAR、316L VIM-VAR 符合 SEMI F20

    • 密封材料：PCTFE、Vespel® 、PFA

    • 阀体泄漏率(向内泄露)：1.0x10-10 Pa·m3/s 以下

    • 阀体泄漏率(向外泄露)：1.0x10-10 Pa·m3/s 以下

    • 循环寿命：400W次以上

    • 阀门内部流道：电解抛光处理 Ra≤0.13μm、Ra≤0.25μm

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